Singulus Technologies Aktiengesellschaft: SINGULUS TECHNOLOGIES erhält Auftrag eines weltweit führenden Halbleiterproduzenten für neuartige Anwendung

Integrierte Induktoren (SiP = System-in-Package) ermöglichen die Realisierung von hochintegrierten und effizienten Schaltreglern und Dünnschicht-Transformatoren. Damit können höhere Versorgungsspannungen direkt auf dem Chip mit geringen Energieverlusten auf niedrigere Arbeitsspannungen transformiert werden. Dies spart Platz sowohl bei Mobilgeräten als auch bei der Verarbeitung von großen Datenmengen und reduziert darüber hinaus den Energieverbrauch der Endgeräte. SINGULUS TECHNOLOGIES ermöglicht damit die immer höhere Integration von Bauelementen in der Halbleiterproduktion und die Reduzierung des Stromverbrauchs.

Die Vakuum-Beschichtungslage des Typs TIMARIS von SINGULUS TECHNOLOGIES ist modular aufgebaut und kann mit verschiedenen Prozess- und Zusatzmodulen ausgestattet werden. Sie wird für das Aufbringen von laminaren, homogenen Schichten im Vakuum eingesetzt. Es handelt sich dabei u.a. um Baugruppen für die Beschichtung, die mit mehreren Kathoden ausgestattet werden können und im Ultrahochvakuum (10-9 Torr) arbeiten. Dabei werden die Silizium-Wafer vollautomatisch in die Anlage eingeschleust und im Vakuum beschichtet.